お知らせ
2019年12月26日
リコーインダストリアルソリューションズ株式会社
リコーインダストリアルソリューションズ株式会社は、文部科学省ナノテクノロジープラットフォームが主催する令和元年度「秀でた利用成果」において、優秀賞を受賞しました。このたび受賞した当社の開発課題は、「小型マイクロステージの開発」で、昨年度までの約20,000件の利用課題の中から、イノベーションにつながることが期待できるなど特に秀逸な成果として選定されました。
レーザー光源のプロジェクターにおいては、光源の光干渉に起因したちらつき（スペックル）の発生を解消する素子が求められており、従来の技術ではシステムのサイズと性能のトレードオフが課題となっておりました。
文部科学省のナノテクノロジープラットフォームを利用し、2018年8月に発表した本開発では、独自開発した2軸駆動の新型MEMS 1 に光学素子を組み合わせ、高速振動させることで従来の課題を解決し、スペックル解消素子の低消費電力化と小型化に大きく貢献することができます。
この新型MEMSは、大きさ5㎜角程度と従来の約50%の小型化を実現しつつ、1つのMEMSアクチュエータで2軸を独立に励振することに成功したものです。
今後、リコーインダストリアルソリューションズ株式会社は、リコーグループ各社と連携し、微細加工技術のため、研究開発を加速してまいります。
なお、今回受賞した開発成果は、2020年1月29日から開催される「nano tech 2020」にて発表およびポスター展示を実施します。
【展示会開催概要】
nano tech 2020 第19回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議
日時： 2020年1月29日（水）～1月31日（金）10:00～17:30
場所： 東京ビッグサイト 西・南ホール全館
（住所： 東京都江東区有明三丁目11番1号）
主催： nano tech実行委員会
※表彰式および成果発表
日時： 2020年1月29日（水）13:30～15:30
場所： 東京ビッグサイト 西2ホール内 シーズ＆ニーズセミナーB会場
【関連リンク】
1 MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）：微小電気機械システム